0。2.8 差分式高能电子衍射仪（RHEED）2.8.1高能电源：最高能量25KV，最大束流100μA2.8.2三极溅射离子泵：抽速不小于25升/秒。3、必要的备件3.1密封用胶圈及无氧铜垫圈：1套3.2石英晶振片：10个3.3 直径100mm铅玻璃：1块3.4样品加热丝：2套；电子枪灯丝：10个3
0。2.8 差分式高能电子衍射仪（RHEED）2.8.1高能电源：最高能量25KV，最大束流100μA2.8.2三极溅射离子泵：抽速不小于25升/秒。3、必要的备件3.1密封用胶圈及无氧铜垫圈：1套3.2石英晶振片：10个3.3 直径100mm铅玻璃：1块3.4样品加热丝：2套；电子枪灯丝：10个3
高真空接口用于扩展高能电子衍射(RHEED)功能。与圆形传样腔连接的闸板阀接口。其他必需的符合超高真空标准的接口以便安装离子规及气路等其他必需的配件。四维样品架：工作温度：室温到1100 ℃；XYZ线性移动模块：XY-移动模块行程为+/- 12.5 mm；Z-移动模块行程为75mm；精度0.05mm
京公网安备 11010802022993号
